江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆干燥装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120656977B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511168126.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆干燥装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆干燥装置，包括集水座，集水座具有容纳腔，容纳腔内设有固定套筒；升降座，套设于固定套筒的外周，且升降座相对于固定套筒滑动设置，升降座与固定套筒之间构成密闭空间，密闭空间外接气源，以使升降座在密闭空间内的气压变化作用下能够升降；防水罩，防水罩与升降座固定连接，以随升降座升降。本申请的晶圆干燥装置能够通过外接气源控制气压变化实现升降，减少机械部件数量，有效消除升降时的晃动问题，提升运动精度，避免液体飞溅污染设备，同时气压驱动机构的集成化设计，显著缩小垂直方向空间占用，降低设备安装高度要求。
本发明授权一种晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括： 集水座，所述集水座具有容纳腔，所述容纳腔内设有固定套筒； 升降座，所述升降座套设于所述固定套筒的外周，且所述升降座相对所述固定套筒滑动设置，所述升降座与所述固定套筒之间构成密闭空间，所述密闭空间外接气源，以使所述升降座在所述密闭空间内的气压变化作用下能够升降； 防水罩，所述防水罩与所述升降座固定连接，以随所述升降座升降； 所述升降座包括滑动套筒，所述滑动套筒的内壁具有第一环槽，所述固定套筒的外壁具有第二环槽，以使所述滑动套筒与所述固定套筒之间形成所述密闭空间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区长江南路25号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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