重庆芯联微电子有限公司吴俊廷获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种用于LPCVD设备的冷凝吸附装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223439501U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422550227.5,技术领域涉及:B01D53/04;该实用新型一种用于LPCVD设备的冷凝吸附装置是由吴俊廷设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于LPCVD设备的冷凝吸附装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于LPCVD设备的冷凝吸附装置,包括壳体和阻流结构;所述壳体的一端设置有进气口,另一端设置有出气口;所述阻流结构设置在所述壳体内部靠近于所述出气口的一端;在所述阻流结构和所述进气口之间设置有容纳空间。现有的冷凝吸附装置通常会因为在入口端的粉尘累积导致堵塞,本申请利用阻流结构实现对气流的阻碍进而使得气体冷凝吸附在壳体内壁上,而通过在阻流结构上预留足够的空间,可供粉尘累积的区域面积变大,从而有效延长使用时间。
本实用新型一种用于LPCVD设备的冷凝吸附装置在权利要求书中公布了:1.一种用于LPCVD设备的冷凝吸附装置,其特征在于,包括壳体和阻流结构;所述壳体的一端设置有进气口,另一端设置有出气口; 所述阻流结构设置在所述壳体内部靠近于所述出气口的一端;在所述阻流结构和所述进气口之间设置有容纳空间。
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