重庆芯联微电子有限公司武凯文获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利快拆式喷涂组件以及光阻喷涂设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223440202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422514081.9，技术领域涉及：B05B15/65；该实用新型快拆式喷涂组件以及光阻喷涂设备是由武凯文;王进钦;方震宇设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本快拆式喷涂组件以及光阻喷涂设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种快拆式喷涂组件以及光阻喷涂设备，快拆式喷涂组件包括：架台以及喷嘴；架台具有连通腔，喷嘴伸入连通腔，以与光阻管路连通；架台的侧壁上设有旋转手柄和卡槽，喷嘴的侧壁上设有外凸的侧翼，喷嘴伸入连通腔时，侧翼伸入卡槽中，旋转手柄驱动架台绕轴旋转，以使得侧翼与卡槽卡合连接；其中，卡槽倾斜设置，以使得侧翼与卡槽卡合时，喷嘴与光阻管路相抵靠。如此配置，通过增设旋转手柄、侧翼和卡槽，安装时驱动旋转手柄，侧翼与卡槽形成卡合，减少了操作人员与喷嘴的接触时间，降低了喷嘴被污染的概率；同时，卡槽倾斜设置，保证了喷嘴的密封性能，也使得每次安装更换的喷嘴能够保持在同一高度上，提升了晶圆膜厚的一致性。
本实用新型快拆式喷涂组件以及光阻喷涂设备在权利要求书中公布了：1.一种快拆式喷涂组件，其特征在于，包括：架台以及喷嘴； 所述架台具有连通腔，所述喷嘴伸入所述连通腔，以与光阻管路连通； 所述架台的侧壁上设有旋转手柄和卡槽，所述喷嘴的侧壁上设有外凸的侧翼，所述喷嘴伸入所述连通腔时，所述侧翼伸入所述卡槽中，所述旋转手柄驱动所述架台绕轴旋转，以使得所述侧翼与所述卡槽卡合连接； 其中，所述卡槽倾斜设置，以使得所述侧翼与所述卡槽卡合时，所述喷嘴与所述光阻管路相抵靠。
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