重庆芯联微电子有限公司武凯文获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利喷涂组件以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223440204U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422491903.6，技术领域涉及：B05B15/68；该实用新型喷涂组件以及半导体制造设备是由武凯文;王进钦;方震宇设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷涂组件以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种喷涂组件以及半导体制造设备，喷涂组件包括：喷涂件、驱动单元以及通信单元；喷涂件具有流通腔和出液口，处理液自流通腔中流动，并于出液口处喷出；喷涂件的内部设有一阀门，阀门用于导通或关断流通腔；驱动单元与喷涂件连接；通信单元与驱动单元通信连接，通信单元在发送关闭阀门信号的同时，向驱动单元发送驱动信号，驱动单元基于驱动信号驱动喷涂件向靠近晶圆的方向移动。如此配置，通过在关闭阀门的同时，驱动喷涂件向靠近晶圆的方向移动，使得出液口至晶圆的距离减小，由于光阻到晶圆表面的时间缩短，液柱没有完全崩散就已经滴落在晶圆表面，不会形成跳滴，能够避免出现涂层异常，进一步提升了产品良率。
本实用新型喷涂组件以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种喷涂组件，其特征在于，包括：喷涂件、驱动单元以及通信单元； 所述喷涂件具有流通腔和出液口，处理液自所述流通腔中流动，并于所述出液口处喷出，所述出液口靠近晶圆的表面设置；所述喷涂件的内部设有一阀门，所述阀门用于导通或关断所述流通腔； 所述驱动单元与所述喷涂件连接，用于驱动所述喷涂件移动； 所述通信单元与所述驱动单元通信连接，所述通信单元在发送关闭阀门信号的同时，向所述驱动单元发送驱动信号，所述驱动单元基于所述驱动信号驱动所述喷涂件向靠近所述晶圆的方向移动，以减小所述出液口至所述晶圆的距离。
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