重庆芯联微电子有限公司邓辉获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利可抽真空腔体和抗反射涂料的供应系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223440280U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421896116.3，技术领域涉及：B05C11/10；该实用新型可抽真空腔体和抗反射涂料的供应系统是由邓辉;王志宏;方震宇设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本可抽真空腔体和抗反射涂料的供应系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可抽真空腔体，包括腔体本体和管路系统，所述腔体本体用于储存抗反射涂料，所述管路系统包括进料管路、出料管路、排气管路和抽真空管路，所述进料管路和所述出料管路与所述腔体本体相连，所述排气管路和抽真空管路与所述腔体本体相连且管路接口均位于所述抗反射涂料的上方。本实用新型还提供了一种抗反射涂料的供应系统，包括所述的可抽真空腔体，还包括原料供应罐和涂布口，所述原料供应罐与所述可抽真空腔体通过所述进料管路相连，所述涂布口与所述可抽真空腔体通过所述出料管路相连。可以防止抗反射涂料中气泡残留导致晶圆表面在后续曝光显影过程中留下环状缺陷。
本实用新型可抽真空腔体和抗反射涂料的供应系统在权利要求书中公布了：1.可抽真空腔体，其特征在于，包括腔体本体1和管路系统，所述腔体本体1用于储存抗反射涂料，所述管路系统包括进料管路2、出料管路3、排气管路4和抽真空管路5，所述进料管路2和所述出料管路3与所述腔体本体1相连，所述排气管路4和所述抽真空管路5与所述腔体本体1相连且管路接口均位于所述抗反射涂料的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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