苏州芯汇晶成半导体科技有限公司杨天生获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯汇晶成半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆湿法清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223440580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421995908.6，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种晶圆湿法清洗装置是由杨天生;陈爱军;袁平;肖亚栋设计研发完成，并于2024-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆湿法清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆湿法清洗装置技术领域，尤其为一种晶圆湿法清洗装置，包括外壳，所述外壳的内侧固定连接有超声波震荡片，所述外壳的内侧固定连接有位于超声波震荡片下方的固定板，所述固定板的顶端设有限位槽，所述限位槽的内部卡合连接有密封塞，所述密封塞的顶端固定连接有连接板，所述连接板的顶端固定连接有拉杆，本实用新型中，通过设置的外壳、超声波震荡片、固定板、限位槽、橡胶层、第一毛刷层、电机、转轴、固定块、第二毛刷层和导流块等构件，首先从外壳上方倒入清洗液，然后将需要清洗的晶圆放在固定板上，通过外部电源启动超声波震荡片，利用超声波震动原理对晶圆进行全方位无死角的穿透震动，初步清洗后，将细碎的杂质震松动。
本实用新型一种晶圆湿法清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆湿法清洗装置，包括外壳1，其特征在于：所述外壳1的内侧固定连接有超声波震荡片2，所述外壳1的内侧固定连接有位于超声波震荡片2下方的固定板3，所述固定板3的顶端设有限位槽4，所述限位槽4的内部卡合连接有密封塞5，所述密封塞5的顶端固定连接有连接板6，所述连接板6的顶端固定连接有拉杆7，所述外壳1的内侧固定连接有位于固定板3下方的橡胶层8，所述橡胶层8远离外壳1的一侧固定连接有第一毛刷层9，所述外壳1的底端边缘处设有出料口10，所述出料口10的内部卡合连接有橡胶塞11，所述外壳1的底端设有排水口12，所述排水口12，所述外壳1的底端中心位置固定连接有电机18，所述电机18的输出轴固定连接有贯穿外壳1的转轴19，所述转轴19的外侧固定连接有固定块20，所述固定块20的顶端固定连接有导流块22，所述固定块20的外侧固定连接有第二毛刷层21。
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