香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种柔性清洁工具及湿法台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223440649U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521961296.3，技术领域涉及：B08B9/087；该实用新型一种柔性清洁工具及湿法台是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种柔性清洁工具及湿法台在说明书摘要公布了：本申请公开了一种柔性清洁工具及湿法台，涉及半导体加工技术领域，其中一种柔性清洁工具包括主体结构、可收缩扩张的清洁组件、第一驱动组件以及第二驱动组件；清洁组件转动安装于主体结构；第一驱动组件安装于主体结构，且与清洁组件连接，能够驱动清洁组件收缩或扩张；第二驱动组件安装于主体结构，且与清洁组件连接，能够驱动清洁组件转动。清洁组件通过第一驱动组件实现收缩和扩张功能，使其能够适应不同尺寸的槽体内壁，并与附着的顽固残留物充分接触。结合第二驱动组件驱动清洁组件转动，可对槽体内壁进行全方位、多角度的刮擦和清洗，显著提高对顽固残留物的清除效率。
本实用新型一种柔性清洁工具及湿法台在权利要求书中公布了：1.一种柔性清洁工具，其特征在于，包括主体结构1、可收缩扩张的清洁组件2、第一驱动组件3以及第二驱动组件4； 所述清洁组件2转动安装于所述主体结构1； 所述第一驱动组件3安装于所述主体结构1，且与所述清洁组件2连接，能够驱动所述清洁组件2收缩或扩张； 所述第二驱动组件4安装于所述主体结构1，且与所述清洁组件2连接，能够驱动所述清洁组件2转动。
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