弥费科技(上海)股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉弥费科技(上海)股份有限公司申请的专利用于晶圆盒的防掉落检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223445063U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423048152.7,技术领域涉及:B66C13/16;该实用新型用于晶圆盒的防掉落检测装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆盒的防掉落检测装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种用于晶圆盒的防掉落检测装置,应用于晶圆搬运技术领域,其中,基板固定在升降机构的驱动部,挡板固定在基板上,挡块固定在挡板朝向门板的一侧;挡块开设有凹槽,且检测传感器安装在凹槽中,检测传感器用于检测预设位置的开口处是否存在门板。本申请升降机构升降晶圆盒至预设位置,通过检测传感器能够检测预设位置的晶圆盒的门板是否存在,以便于在天车系统搬运晶圆盒时停止启动行进,且在晶圆盒的门板没有锁紧的情况下,通过预设位置的门板前面的挡块阻挡门板,以降低门板在天车搬运过程中掉落的概率,从而降低天车运行过程中晶圆盒内部的晶圆从晶圆盒中脱落并造成严重损失的风险。
本实用新型用于晶圆盒的防掉落检测装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆盒的防掉落检测装置,其特征在于,晶圆盒通过天车搬运;所述天车包括车体、行走机构、升降机构以及夹持机构;所述行走机构连接所述车体,用于带动所述车体行走;所述升降机构的驱动部安装于所述车体,且所述升降机构的升降部连接所述夹持机构,所述夹持机构用于夹持所述晶圆盒,以使所述升降机构通过升降所述夹持机构升降所述晶圆盒至预设位置; 晶圆通过所述晶圆盒侧部的开口置于所述晶圆盒内部,所述开口处朝向所述晶圆盒内凹构成一放置门板的放置槽,且所述放置槽靠近所述晶圆盒内部的槽面用于限制所述门板朝所述晶圆盒内部倾倒,所述放置槽靠近所述晶圆盒底部的槽面用于抵接所述门板的底部,以使所述门板用于阻挡所述晶圆盒内部的所述晶圆掉落; 该防掉落检测装置包括基板、挡板、挡块以及检测传感器;所述基板固定在所述升降机构的驱动部,所述挡板安装于所述基板,且所述挡板从所述基板沿所述升降机构的下降方向延伸至对应预设位置的所述门板的位置,且所述挡板位于所述门板背离所述晶圆盒内部的一侧,所述挡块固定在所述挡板朝向所述门板的一侧且对应于所述门板,以使所述挡块阻挡所述门板从所述放置槽掉落; 所述挡块背离所述挡板的所在面开设有凹槽,且所述检测传感器安装在所述凹槽中,所述检测传感器用于检测预设位置的所述开口处是否存在门板。
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