均豪精密工业股份有限公司张瑞宗获国家专利权
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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利晶圆干燥系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223448801U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422954835.2，技术领域涉及：F26B9/08；该实用新型晶圆干燥系统是由张瑞宗;刘保正;许旬全设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆干燥系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆干燥系统，包括槽体、喷气机构及抽气装置。槽体设有容置空间及承载部，承载部设于槽底，承载部能承放晶圆载具，且晶圆载具容纳至少一晶圆。喷气机构包括第一喷嘴与第二喷嘴，容置空间中同一个槽壁上的第一喷嘴提供第一锥形范围的第一气体而在容置空间的垂直方向上形成垂直气墙。容置空间中同一个槽壁上的第二喷嘴分别朝晶圆载具提供第二锥形范围的第二气体，第二锥形范围大于第一锥形范围而突破垂直气墙，以吹动这些晶圆相对晶圆载具产生振动。抽气装置包括抽气管，抽气管连通于槽底，抽气装置朝晶圆载具抽气。
本实用新型晶圆干燥系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥系统，适于干燥至少一晶圆，其特征在于，所述晶圆干燥系统包括： 一槽体，其设有一容置空间及一承载部，该容置空间包括四槽壁及一槽底，该容置空间定义有一水平方向及一垂直方向，而该承载部设于该槽底，该承载部能承放一晶圆载具，且该晶圆载具容纳该至少一晶圆； 一喷气机构，包括： 复数个第一喷嘴，各该第一喷嘴分别间隔设置，且各该第一喷嘴架设于该四槽壁中的至少二个槽壁，同一个该槽壁上的各该第一喷嘴分别提供一第一锥形范围的一第一气体而在该垂直方向上形成一垂直气墙：及 复数个第二喷嘴，各该第二喷嘴分别间隔设置，且各该第二喷嘴架设于该四槽壁中的至少二个槽壁，同一个该槽壁上的各该第二喷嘴分别朝该晶圆载具提供一第二锥形范围的一第二气体，其中该第二锥形范围大于该第一锥形范围而突破该垂直气墙，以吹动该至少一晶圆相对该晶圆载具产生振动：以及 一抽气装置，包括至少一抽气管，各抽气管连通于该槽底，且该抽气管位于该晶圆载具的下方，该抽气装置朝该晶圆载具抽气。
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