上海臻强实业有限公司沈子叶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海臻强实业有限公司申请的专利一种半导体前道工艺设备中的花洒盘微孔检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223449836U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422316421.7，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种半导体前道工艺设备中的花洒盘微孔检测装置是由沈子叶设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体前道工艺设备中的花洒盘微孔检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开的一种半导体前道工艺设备中的花洒盘微孔检测装置，包括：台架；安装在台架平行于纵向方向两侧的左、右滑台；滑动配置在台架上在且能在左、右滑台之间横向运动的工件固定台；安装在台架上的工件固定台横向移动机构，用以驱动工件固定台在左、右滑台之间横向运动；设置在工件固定台上的背光模组；设置在台架上的背光模组开关；两端滑动安装在左、右滑台上的直线运动机构；安装在直线运动机构上的电子显微镜，电子显微镜用于观察安装在工件固定台上的花洒盘的孔的圆度、孔边的毛刺以及是否有漏加工；显示装置，显示装置与电子显微镜信号连接，以便检测人工通过显示器观察孔的圆度、孔边的毛刺以及是否有漏加工情况。
本实用新型一种半导体前道工艺设备中的花洒盘微孔检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体前道工艺设备中的花洒盘微孔检测装置，其特征在于，包括： 台架； 安装在所述台架平行于纵向方向两侧的左、右滑台； 滑动配置在所述台架上的工件固定台，所述工件固定台在所述左、右滑台之间横向运动； 一安装在所述台架上的工件固定台横向移动机构，所述工件固定台横向移动机构驱动所述工件固定台在所述左、右滑台之间横向运动； 设置在工件固定台上的背光模组； 设置在所述台架上的背光模组开关，所述背光模组开关外接市电，内与所述背光模组电连接，用以控制背光模组的开启与关闭； 一两端滑动安装在所述左、右滑台上的直线运动机构； 安装在所述直线运动机构上的电子显微镜，所述电子显微镜用于观察安装在所述工件固定台上的花洒盘的孔的圆度、孔边的毛刺以及是否有漏加工； 一显示装置，所述显示装置与所述电子显微镜信号连接，以便检测人工通过显示器观察孔的圆度、孔边的毛刺以及是否有漏加工情况。
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