广东明阳光伏产业有限公司白晶滔获国家专利权
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龙图腾网获悉广东明阳光伏产业有限公司申请的专利一种曝光机掩膜版的自动清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450314U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422911504.0，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型一种曝光机掩膜版的自动清洁装置是由白晶滔;张瑞;张雄;魏江峰;李伟生;曾楚华设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光机掩膜版的自动清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种曝光机掩膜版的自动清洁装置，所述掩膜版设置在曝光机内掩膜台处，自动清洁装置包括驱动机构、伸缩杆、连接杆以及清洁滚筒；所述驱动机构安装在曝光机处，所述驱动机构与伸缩杆的一端连接，所述伸缩杆的另一端通过连接杆与清洁滚筒形成可拆卸式连接，且所述清洁滚筒的表面能够与掩膜版相贴合，其中所述清洁滚筒为PET柔性清洁滚筒，所述清洁滚筒的外表面设有合成树脂及橡胶的复合涂层；本实用新型能够解决现有方式存在的作业效率低、清洁效果不稳定，有可能损伤掩膜版的问题。通过自动清洁装置实现掩膜版的快速、有效清洁，提高生产效率和产品质量，降低生产成本。
本实用新型一种曝光机掩膜版的自动清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光机掩膜版的自动清洁装置，所述掩膜版设置在曝光机内掩膜台处，其特征在于：所述自动清洁装置对应设置在掩膜版的两侧，所述自动清洁装置包括驱动机构、伸缩杆、连接杆以及清洁滚筒；所述驱动机构安装在曝光机处，所述驱动机构与伸缩杆的一端连接，所述伸缩杆的另一端通过连接杆与清洁滚筒形成可拆卸式连接，且所述清洁滚筒的表面能够与掩膜版相贴合，其中所述清洁滚筒为PET柔性清洁滚筒，所述清洁滚筒的外表面设有合成树脂及橡胶的复合涂层。
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