诺瓦测量仪器有限公司于尔格·斯塔尔获国家专利权
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龙图腾网获悉诺瓦测量仪器有限公司申请的专利用于监视和控制衬底化学处理的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450845U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422251484.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型用于监视和控制衬底化学处理的系统是由于尔格·斯塔尔设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于监视和控制衬底化学处理的系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于监视和控制衬底化学处理的系统，其包括：壳体，其具有在前侧处的至少一个防护门；密封模块门；湿部件柜，其被构造在至少一个防护门与密封模块门之间；多个分析模块，分析模块各自具有多个工作站和设备并且分析模块被配置用于不同类型的分析，分析模块被安装在密封模块门上，并且多个工作站和设备的组件位于湿部件柜中；电气柜，其被配置在密封模块门之后，电气柜被配置成包括用于控制工作站和设备的运行的电气组件；一个或多个化学品柜，其用于储存和提供通过工作站进行的分析需要的化学品；用户接口，其用于与一个或多个计算装置连接，能够通过计算装置监视和控制分析。该系统是模块化的、灵活的和可扩展的。
本实用新型用于监视和控制衬底化学处理的系统在权利要求书中公布了：1.一种用于监视和控制衬底化学处理的系统，包括壳体，所述壳体具有在前侧处的至少一个防护门， 其特征在于，所述用于监视和控制衬底化学处理的系统还包括： 密封模块门； 湿部件柜，所述湿部件柜被构造在至少一个所述防护门与所述密封模块门之间； 多个分析模块，所述分析模块各自具有多个工作站和设备并且所述分析模块被配置用于不同类型的分析，所述分析模块被安装在所述密封模块门上，并且多个所述工作站和所述设备的组件位于所述湿部件柜中； 电气柜，所述电气柜被配置在所述密封模块门之后，所述电气柜被配置成包括用于控制所述工作站和所述设备的运行的电气组件； 一个或多个化学品柜，所述化学品柜用于储存和提供通过所述工作站进行的所述分析需要的化学品； 用户接口，所述用户接口用于与一个或多个计算装置连接，能够通过所述计算装置监视和控制所述分析。
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