国芯半导体(仪征)有限公司顾金海获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450854U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422913116.6,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机是由顾金海;裴勇康设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体硅外延片技术领域,具体为一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机,包括壳体的一侧通过螺纹连接有阀门,所述阀门的一侧插接有出水管,所述壳体的上方嵌入有第二磁吸片,所述壳体的上方铰链连接有盖板,所述盖板的上方嵌入有第一磁吸片,所述壳体的一侧通过螺丝安装有水箱,所述水箱的后方通过螺丝安装有抽水泵,所述壳体的内部分别设有连接板与过滤盒,所述连接板的下方设有过滤盒;所述连接板的内部孔槽贴合有滑杆,改良后的清洗机,内部设有搅拌组件和清洗喷头,可以将内部过滤盒清理干净,过滤盒的外部有摇摆机构,可以将内部的零件混合,避免清理时只能清理单面,提高清理的均匀性。
本实用新型一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机,包括壳体1,其特征在于:所述壳体1的一侧通过螺纹连接有阀门7,所述阀门7的一侧插接有出水管8,所述壳体1的上方嵌入有第二磁吸片6,所述壳体1的上方铰链连接有盖板4,所述盖板4的上方嵌入有第一磁吸片5,所述壳体1的一侧通过螺丝安装有水箱9,所述水箱9的后方通过螺丝安装有抽水泵10,所述壳体1的内部分别设有连接板2与过滤盒3,所述连接板2的下方设有过滤盒3; 所述连接板2的内部孔槽贴合有滑杆204,所述连接板2的内部孔槽螺纹连接有螺纹丝杆201,所述连接板2的下方通过螺丝安装有第一电机205的外壳,所述第一电机205的下方输出轴通过螺丝安装有搅拌轴206,所述搅拌轴206的外壁胶接有硅胶清理片207,所述连接板2的上方通过螺丝安装有集水盒203,所述集水盒203的下方螺纹连接有喷头202; 所述过滤盒3的一侧转动连接有转轴301,所述转轴301的一侧插接有第二不完全齿轮302,所述第二不完全齿轮302的下方啮合有第一不完全齿轮303,所述第一不完全齿轮303的一侧中部插接有第二电机304的输出轴,所述过滤盒3的另一侧通过螺丝安装有滑块305,所述滑块305的外壁贴合有滑槽306。
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