昆山日月同芯半导体有限公司崔晓建获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山日月同芯半导体有限公司申请的专利一种晶圆转换Cassette治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450856U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422963737.5,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆转换Cassette治具是由崔晓建;胡明翊;贾红星设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆转换Cassette治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆转换Cassette治具,应用于半导体制造设备技术领域,包括工作台,所述工作台的顶部焊接有横杆支架,所述横杆支架顶部的两侧均滑动套接有移动滑块,所述移动滑块的底部焊接有固定杆。通过使用插臂晶圆进行转移,与手动拿取晶圆相比,避免了人体与晶圆的直接接触,减少了杂质污染或造成裂片,刮伤等不良的可能性。从而有效提高了晶圆的品质,有助于提高半导体产品的良率。并且也缩短了晶圆在不同Cassette之间转换的时间,提高了生产效率。同时可选择只转移部分晶圆,插臂可选择性地进行180度旋转,只保留需要转移部分晶圆的插臂,其他插臂180度旋转到后方,进一步提高了治具的灵活性和适用性。
本实用新型一种晶圆转换Cassette治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆转换Cassette治具,包括工作台1,其特征在于:所述工作台1的顶部焊接有横杆支架2,所述横杆支架2顶部的两侧均滑动套接有移动滑块3,所述移动滑块3的底部焊接有固定杆4,所述固定杆4的表面转动连接有转动套5,所述转动套5表面的一侧焊接有插臂6,所述转动套5表面远离插臂6的一侧贯穿螺纹连接有同固定杆4卡接的锁定螺栓7。
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