吉林华微电子股份有限公司王久峰获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利一种晶圆运输禁锢装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450862U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422365675.8,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆运输禁锢装置是由王久峰;王斌;孟鹤;邢文超;于洋;常影设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆运输禁锢装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆生产技术领域,具体为一种晶圆运输禁锢装置,包括:禁锢环和蓝膜,禁锢环为环形结构,其外轮廓为八边形结构,其内轮廓为圆形结构,与晶圆外轮廓相同,蓝膜粘设于禁锢环的一侧,其外轮廓与禁锢环的外轮廓相同;本实用新型将蓝膜贴在环形塑料禁锢环片上,保持蓝膜水平方向上芯粒与芯粒之间相互不发生挤压;运输过程中环形装置可以撑起晶圆四周,减少蓝膜垂直方向上的受力,降低芯粒破损;禁锢环形塑料片上有晶圆定位卡口,在张贴蓝膜操作时候保障蓝膜张贴方向一致;禁锢装置材料重量较轻的塑料来制作,降低运输费用;放置在外包装盒内,运输时候不产生水平方向晃动;可以适用于不同尺寸大小的晶圆,大小尺寸晶圆可以自如切换。
本实用新型一种晶圆运输禁锢装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆运输禁锢装置,与切割后的晶圆配合使用,其特征在于,包括:禁锢环和蓝膜,所述禁锢环为环形结构,其外轮廓为八边形结构,其内轮廓为圆形结构,所述蓝膜粘设于禁锢环的一侧,其外轮廓与禁锢环的外轮廓相同;所述切割后的晶圆粘设于蓝膜的一侧,位于禁锢环内部。
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