深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司周宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种硅片传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450869U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422727493.0，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种硅片传送装置是由周宏业;高森;王洋;吴必康;黄晓林设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片传送装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片传送装置，包括在第一工位与第二工位之间移动硅片的硅片移载模块，所述硅片移载模块在所述第一工位与第二工位上方移动，所述第二工位包括用于承载所述硅片的载板模块及检测所述载板模块位置的位置检测装置，所述载板模块上设置有用于放置所述硅片的硅片承载位，所述硅片移载模块包括朝下的用于吸附硅片的吸盘及调节所述吸盘位置的调节机构。本实用新型能够利用简单的检测装置实现硅片传送的准确性，将载板和硅片吸附装置模块设计，相比较常规单片硅片纠偏的方式，降低了投入、调试、运行成本，优化了重载型直线电机模块的结构，可以避免因平行度加工偏差引起的运行卡滞。
本实用新型一种硅片传送装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片传送装置，包括在第一工位与第二工位之间移动硅片的硅片移载模块，所述硅片移载模块在所述第一工位与第二工位上方移动，其特征在于，所述第二工位包括用于承载所述硅片的载板模块及检测所述载板模块位置的位置检测装置，所述载板模块上设置有用于放置所述硅片的硅片承载位，所述硅片移载模块包括朝下的用于吸附硅片的吸盘及调节所述吸盘位置的调节机构，所述调节机构根据所述位置检测装置检测的位置信息调节所述吸盘的位置从而使得吸附的硅片与所述硅片承载位上下对应。
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