亿元达(天津)机电科技有限公司孙中臣获国家专利权
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龙图腾网获悉亿元达(天津)机电科技有限公司申请的专利一种晶圆寻边对中装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450870U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422888390.2,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种晶圆寻边对中装置是由孙中臣设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆寻边对中装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆寻边对中装置,本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该晶圆寻边对中装置,包括:工作台,工作台上方转动安装有用于固定晶圆的吸附盘;滑槽,对称开设在工作台上方并位于吸附盘两侧;移动组件,对称安装在工作台下方,且分别对应两个滑槽设置;该申请通过设置两个在移动架带动下可进行移动的激光传感器可以适应不同规格的晶圆,同时还可分别从晶圆的不同侧面对其边缘进行检测,这种双边检测的方式可以更有效地捕捉晶圆边缘的精确位置,因为两个传感器能够同时提供数据,从而减少了单一传感器可能产生的误差。
本实用新型一种晶圆寻边对中装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆寻边对中装置,其特征在于,包括: 工作台1,所述工作台1上方转动安装有用于固定晶圆的吸附盘2; 滑槽3,对称开设在工作台1上方并位于吸附盘2两侧; 移动组件,对称安装在所述工作台1下方,且分别对应两个滑槽3设置;所述移动组件传动连接有一移动架4,所述移动架4通过所述滑槽3延伸至所述工作台1上方,所述移动组件用于驱动移动架4沿滑槽3的延伸方向移动; 激光传感器5,可拆卸的插接在所述移动架4的上端靠近吸附盘2的一侧,两侧的两个激光传感器5呈对称布置; 定位组件,安装在所述移动架4上,用于将激光传感器5定位在移动架4上。
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