拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利固定结构、晶圆盒总成及半导体工艺设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223450878U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422755479.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型固定结构、晶圆盒总成及半导体工艺设备是由龙占勇;周亮;金文凯;王勤勤;林佳继设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本固定结构、晶圆盒总成及半导体工艺设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体制造设备技术领域,公开了一种固定结构、晶圆盒总成及半导体工艺设备。该固定结构包括基座、限位组件、调节组件和晶圆检测组件。基座安装于半导体工艺设备的装载平台上。限位组件设置于该基座上,包括相互间隔设置的多个限位件,多个该限位件之间形成在X方向上尺寸可调的定位空间,晶圆盒总成的晶圆盒本体能够定位于该定位空间中。调节组件设置于该基座并连接于该装载平台,该调节组件在Z方向上高度可调。该固定结构能够灵活调整宽度尺寸和高度尺寸,以适配于不同的晶圆盒本体在装载平台上的固定安装,提升取片或放片的成功率,防止损坏晶圆片。
本实用新型固定结构、晶圆盒总成及半导体工艺设备在权利要求书中公布了:1.固定结构,其特征在于,包括: 基座100,安装于半导体工艺设备的装载平台上; 限位组件200,设置于所述基座100上,包括相互间隔设置的多个限位件,所述多个限位件之间形成在X方向上尺寸可调的定位空间,晶圆盒总成的晶圆盒本体10能够定位于所述定位空间中; 调节组件300,设置于所述基座100并连接于所述装载平台,所述调节组件300在Z方向上高度可调; X方向垂直于Z方向。
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