江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利顶针及晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450881U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422954394.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型顶针及晶圆干燥装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本顶针及晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆清洗干燥领域，公开了一种顶针及晶圆干燥装置，顶针包括：顶针本体，顶针本体包括相对的第一端和第二端，第一端用于与晶圆接触；第一排水孔，第一排水孔设置于第一端；第二排水孔，第二排水孔设置于第二端，第二排水孔与第一排水孔连通，第二排水孔的孔径大于第一排水孔的孔径。采用本申请公开的顶针，能够将顶针与晶圆接触的一端和晶圆间会残留少部分清洗液通过虹吸现象吸出，在晶圆干燥完成后晶圆与顶针接触的部分没有水渍点，减少对晶圆的污染，从而保证晶圆的性能和可靠性。
本实用新型顶针及晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑晶圆的顶针，其特征在于，包括： 顶针本体，所述顶针本体包括相对的第一端和第二端，所述第一端用于与所述晶圆接触； 第一排水孔，所述第一排水孔设置于所述第一端； 第二排水孔，所述第二排水孔设置于所述第二端，所述第二排水孔与所述第一排水孔连通，所述第二排水孔的孔径大于所述第一排水孔的孔径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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