瑞凡等离子技术(苏州)有限公司王雄获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉瑞凡等离子技术(苏州)有限公司申请的专利一种应用于PVD预清洁工艺的可调节阻抗匹配器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223451949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422889957.8，技术领域涉及：H03H11/28；该实用新型一种应用于PVD预清洁工艺的可调节阻抗匹配器是由王雄;苌士锋;李思思;黄歆卓设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于PVD预清洁工艺的可调节阻抗匹配器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种应用于PVD预清洁工艺的可调节阻抗匹配器，包括腔室外壳、线圈电感、电容组件和射频源连接端口；在腔室外壳的内侧壁上安装有线圈电感，在腔室外壳内的底部安装有电容组件；电容组件包括沿着前后方向分布的两个电容安装底座，贴片电容C安装在贴片电容安装座上，贴片电容安装座的前后两端分别安装在两个贴片电容安装底座上。本实用新型通过采用固定结构的匹配网络设计更为简洁，成本更低，适配性更强，针对频率变化采用了不同电容进行匹配，操作简单，可控制性强，问题排查便捷。
本实用新型一种应用于PVD预清洁工艺的可调节阻抗匹配器在权利要求书中公布了：1.一种应用于PVD预清洁工艺的可调节阻抗匹配器，包括腔室外壳1、线圈电感2、电容组件3和射频源连接端口6； 其特征在于： 在所述腔室外壳1的内侧壁上安装有线圈电感2，在所述腔室外壳1内的底部安装有电容组件3，在所述电容组件3的一侧设置有射频源连接端口6； 所述电容组件3包括沿着前后方向分布的两个电容安装底座31，贴片电容C37安装在贴片电容安装座35上，所述贴片电容安装座35的前后两端分别安装在两个贴片电容安装底座31上； 在所述射频源连接端口6上连接射频源4，所述射频源4的输出端与匹配网络5相连接，所述线圈电感2包括电感L1和电感L2，所述匹配网络5包括电感L1、电感L2和贴片电容C37，所述电感L1与贴片电容C37串联，所述电感L2并联在串联的电感L1与贴片电容C37上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人瑞凡等离子技术(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区扬富路11号南岸新地一期商务楼栋5号楼8楼801、804室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励