东京毅力科创株式会社赤田光获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置与其设置方法以及计算机存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109979851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811474326.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置与其设置方法以及计算机存储介质是由赤田光设计研发完成，并于2018-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置与其设置方法以及计算机存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置与其设置方法以及计算机存储介质。抑制输送时的基板处理装置的高度，且容易地设置输送后的基板处理装置。处理晶圆的基板处理装置具备：装置主体2，其对晶圆实施预定的处理；壳体400，其收容预定零部件，且相对于装置主体2的顶面2a拆装自由；插头部410，其设置于壳体400，且与预定零部件连接起来；插座部310，其设置于顶面2a，且与插头部410嵌合；引导部300，其设置于顶面2a，且用于使壳体400向X方向正方向移动；以及连接辅助机构，其使壳体400向X方向正方向移动，同时使插头部410和插座部310嵌合。
本发明授权基板处理装置与其设置方法以及计算机存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其是对基板进行处理的基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置具备： 装置主体，其对基板实施预定的处理； 壳体，其收容预定零部件，且相对于所述装置主体的上部拆装自由； 壳体侧连接部，其设置于所述壳体，且与所述预定零部件连接起来； 主体侧连接部，其设置于所述装置主体的上部，且与所述壳体侧连接部嵌合； 引导部，其设置于所述装置主体的上部，且用于使所述壳体向一方向移动；以及 连接辅助机构，其使所述壳体向所述一方向移动，并且使所述壳体侧连接部和所述主体侧连接部嵌合。
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