广东达蒙得半导体科技有限公司王宏兴获国家专利权
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龙图腾网获悉广东达蒙得半导体科技有限公司申请的专利一种用于MPCVD系统的导流式样品托及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111676466B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010692712.X,技术领域涉及:C23C16/458;该发明授权一种用于MPCVD系统的导流式样品托及系统是由王宏兴;王艳丰设计研发完成,并于2020-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MPCVD系统的导流式样品托及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于MPCVD系统的导气式样品托,包括:样品托本体,用于水平放置于反应腔内,样品托本体的上方中心处设置有用于导入气流的气体导入口;样品托本体的下部为圆柱体状,其上部包括同轴设置的挡流板和导流台,挡流板位于外侧且为圆环体。导流台为一上小下大的圆台体;导流台的上表面为水平状,用于放置金刚石样品;导流台的下端直径与挡流板内环直径相同,导流台的高度满足以下条件:金刚石样品放置在导流台上时,金刚石样品的上表面不超过挡流板的上表面。在挡流板底部环绕一周间隔、且均匀贯通开设有多个径向导流孔。该样品托为金刚石生长提供一个稳定的气流环境,减少金刚石边缘多晶等缺陷的形成。
本发明授权一种用于MPCVD系统的导流式样品托及系统在权利要求书中公布了:1.一种用于MPCVD系统的导气式样品托,其特征在于,包括: 样品托本体2,用于水平放置于反应腔内,所述样品托本体2的上方中心处设置有用于导入气流6的气体导入口;所述样品托本体2的下部为圆柱体状,其上部包括同轴设置的挡流板7和导流台3,所述挡流板7位于外侧且为圆环体; 所述导流台3为一上小下大的圆台体;所述导流台3的上表面为水平状,用于放置金刚石样品5;所述导流台3的下端直径与所述挡流板7内环直径相同,所述导流台3的高度满足以下条件:所述金刚石样品5放置在导流台3上时,所述金刚石样品5的上表面不超过挡流板7的上表面; 在所述挡流板7底部环绕一周间隔、且均匀贯通开设有多个径向导流孔4;各所述导流孔4用于:将气流6流经气体导入口、金刚石样品5表面、导流台3侧壁后导出样品托本体2的外部; 所述导流台3侧壁与水平面的夹角为α,α的取值范围为20°~80°。
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