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龙图腾网获悉成都技致光电科技有限公司申请的专利一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111969395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010910958.X，技术领域涉及：H01S3/00；该发明授权一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置及方法是由李斌成设计研发完成，并于2020-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开的用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置和方法，明确了在组成光学延迟腔的球面反射镜的个数为八或者十六时，脉冲展宽装置能在有效展宽准分子激光脉冲宽度的同时控制输出光束的光束特性，通过优化脉冲展宽装置中反射镜的曲率半径，保证光束经过脉冲展宽装置展宽后的输出光束特性参数不发生改变，具有实际的工程应用价值；该脉冲展宽装置在有效展宽准分子激光脉冲宽度的同时控制输出光束的光束特性，通过优化反射镜的曲率半径保证了输入光束与输出光束的光束特性参数不发生改变，具有实际的工程应用价值。

本发明授权一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置及方法在权利要求书中公布了：1.用于高能量光刻用准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，包括基于两个分束元件和八个球面反射镜M1-M8组成的光学延迟腔直接构成的脉冲展宽装置，或者包括一个基于两个分束元件、八个球面反射镜M1-M8组成光学延迟腔的脉冲展宽装置和一个基于单分束元件、多个球面反射镜组成光学延迟腔的后级脉冲展宽装置； 基于两个分束元件和八个球面反射镜M1-M8组成光学延迟腔的脉冲展宽装置，第一个分束元件将入射光束分为反射光和透射光，透射光束直接入射到第二个分束元件上进一步分光，反射光束经球面反射镜M1-M4反射光学延迟后也入射到第二个分束元件上进一步分束，入射到第二个分束元件上的光束又被分成两束光，一束光束直接输出，另一束光束经球面反射镜M5-M8反射光学延迟后又回到第一个分束元件上进一步分光；入射光经第一个分束元件反射、球面反射镜M1-M4反射以及第二个分束元件的反射，经过六次镜面反射以及两次次成像；入射光束在延迟腔传输过程中形成的成像共轭点为第一个分束元件位置点和第二个分束元件上方的位置点A处，位置点A与第二个分束元件之间的距离与第一个分束元件、第二个分束元件之间的距离相等；经过第二个分束元件返回到延迟腔中的光束，经过球面反射镜M5-M8反射后回到第一个分束元件上,通过优化球面反射镜M5-M8的曲率半径，使得这部分反射光束最终的输出光束与输入光束的光斑尺寸、光束发散角以及光束漂移特性参数保持一致,并且位置点A与第一个分束元件位置点仍为成像共轭点； 通过优化球面反射镜的曲率半径，使得经过两种路径入射到第二个分束元件的两束光束的光束特性参数保持完全一致；通过优化球面反射镜的曲率半径，使得经过光学延迟后回到第一个分束元件的光束与进入脉冲展宽装置的入射光束的光束特性参数保持完全一致；控制球面反射镜的曲率半径，使得进行光学延迟后输出光束的光束特性参数与直接经过分束元件透射后输出光束的光束特性参数在脉冲展宽装置输出端口位置完全一致；所述光束特性参数包括：光束发散角、光束指向性漂移和光斑尺寸。

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