佳能特机株式会社青木泰一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112652565B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011078353.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法是由青木泰一郎;铃木健太郎;冈部俊介;中须祥浩设计研发完成，并于2020-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法在说明书摘要公布了：本发明的对准装置的特征在于，包含：位置偏移检测部件，所述位置偏移检测部件检测基板与掩模间的位置偏移；驱动部件，所述驱动部件用于使所述基板或所述掩模相对移动；控制部件，所述控制部件基于利用所述位置偏移检测部件检测到的位置偏移，控制所述驱动部件，进行所述基板与所述掩模间的位置匹配；以及接触检测部件，所述接触检测部件检测所述基板与所述掩模的接触，所述控制部件构成为：基于由所述接触检测部件检测的接触的检测结果，对控制所述驱动部件的增益进行调整。
本发明授权对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置包含： 位置偏移量检测部件，所述位置偏移量检测部件检测基板与掩模的位置偏移量； 驱动部件，所述驱动部件用于使所述基板或所述掩模相对移动； 控制部件，所述控制部件基于利用所述位置偏移量检测部件检测到的位置偏移量，控制所述驱动部件，进行所述基板与所述掩模的位置匹配；以及 接触检测部件，所述接触检测部件基于所述驱动部件的驱动电流值的变动检测所述基板与所述掩模的接触， 所述控制部件进行控制，使得在所述基板与所述掩模的位置匹配工作期间利用所述接触检测部件检测到的所述驱动部件的驱动电流值的位移量为预先决定的基准值以下的情况下，使所述驱动部件的输出降低并继续进行所述位置匹配工作。
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