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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利厚度测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112665510B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011084697.7，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权厚度测量装置是由木村展之;能丸圭司设计研发完成，并于2020-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本厚度测量装置在说明书摘要公布了：本发明提供厚度测量装置，其能够容易且高精度地测量被加工物的厚度。该厚度测量装置对卡盘工作台所保持的被加工物的厚度进行测量，其中，该厚度测量装置包含：多个图像传感器，它们对通过多个衍射光栅按照每个波长进行了分光的光的强度进行检测并生成分光干涉波形；以及厚度输出单元，其根据多个图像传感器所生成的分光干涉波形而输出厚度信息。厚度输出单元包含：基准波形记录部，其将与多个厚度对应的分光干涉波形作为基准波形进行记录；以及厚度确定部，其将多个图像传感器所生成的多个分光干涉波形与基准波形记录部所记录的基准波形进行对照，根据波形一致的基准波形而确定与各分光干涉波形对应的厚度。

本发明授权厚度测量装置在权利要求书中公布了：1.一种厚度测量装置，其对卡盘工作台所保持的被加工物的厚度进行测量，其中， 该厚度测量装置具有： 光源，其射出白色光； 多个聚光器，它们对该卡盘工作台所保持的被加工物会聚该光源所射出的白色光； 多个第一光路，它们将该光源与该聚光器连通； 多个光分支部，它们配设于该多个第一光路，将从该卡盘工作台所保持的该被加工物反射的反射光分支至多个第二光路； 多个衍射光栅，它们配设于该多个第二光路； 多个图像传感器，它们对通过该多个衍射光栅而按照每个波长进行了分光的光的强度进行检测并生成分光干涉波形；以及 厚度输出单元，其根据该多个图像传感器所生成的分光干涉波形而输出厚度信息， 该多个聚光器包含： 多个fθ透镜，它们按照分担该被加工物的整个面的测量区域的方式配设；以及 多个镜筒，它们对该多个fθ透镜进行保持，所述镜筒成为白色光照射的无效区域； 多个扫描器，它们与各该fθ透镜对应而配设， 该厚度输出单元包含： 基准波形记录部，其将与多个厚度对应的分光干涉波形作为基准波形进行记录；以及 厚度确定部，其将该多个图像传感器所生成的多个分光干涉波形与该基准波形记录部所记录的基准波形进行对照，根据波形一致的基准波形而确定与各分光干涉波形对应的厚度， 由多个fθ透镜分担被加工物的整个面的除无效区域以外的区域。

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