通快激光系统半导体制造有限公司J·米勒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉通快激光系统半导体制造有限公司申请的专利用于调整激光射束的方法、用于提供经调整的激光射束的设备和光学布置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113597715B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980094486.0，技术领域涉及：H01S3/00；该发明授权用于调整激光射束的方法、用于提供经调整的激光射束的设备和光学布置是由J·米勒设计研发完成，并于2019-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于调整激光射束的方法、用于提供经调整的激光射束的设备和光学布置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于调整激光射束1的方法，包括：借助探测器装置6的至少一个优选地点分辨的探测器6a来测量在穿过射束成形装置4之后激光射束1的射束轮廓15，16；基于所测量的射束轮廓15，16，求取所述激光射束1的射束质量特性D；以及调节可调设的光学器件5，以在所述激光射束1进入所述射束成形装置4之前改变其至少一个特性；其中，为了调整所述激光射束1，根据所求取的射束质量特性D尤其是多次调节所述可调设的光学器件5，优选直到所述射束质量特性D达到预给定的值DS。本发明还涉及一种用于提供经调整的激光射束1的设备3a和一种极紫外辐射产生设备。
本发明授权用于调整激光射束的方法、用于提供经调整的激光射束的设备和光学布置在权利要求书中公布了：1.一种用于调整激光射束1的方法，所述方法包括： 借助探测器装置6的至少一个探测器6a来测量所述激光射束1在穿过射束成形装置4之后的射束轮廓15，16； 基于所测量的射束轮廓15，16，求取所述射束轮廓15，16与预给定的射束轮廓的偏差作为所述激光射束1的射束质量特性，其中，求取所述激光射束1在探测器6a上的强度分布Ix,y与预给定的强度分布的偏差作为射束质量特性；以及 调节可调设的光学器件5，以便在进入所述射束成形装置4之前改变所述激光射束1的至少一个特性； 其中，为了调整所述激光射束1，根据所求取的射束质量特性调节所述可调设的光学器件5，其中，所述射束成形装置4包括光学放大器、光学隔离器、光学延迟路径和或光学偏振器， 求取所述激光射束1在探测器6a上的强度分布Ix,y与高斯强度分布IGx,y的偏差作为射束质量特性： D＝∫∫x，yIx,y-IGx,y2。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人通快激光系统半导体制造有限公司，其通讯地址为：德国迪琴根；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励