东京毅力科创株式会社竹内千明获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和喷射器的安装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113725116B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110524004.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和喷射器的安装方法是由竹内千明;岛田光一设计研发完成，并于2021-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和喷射器的安装方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置和喷射器的安装方法。提供能够抑制喷射器的倾斜的技术。本公开的一形态所涉及的基板处理装置包括：处理容器，其具有大致圆筒形状；喷射器，其沿着所述处理容器的内壁内侧在铅垂方向上延伸设置；以及保持部，其将所述喷射器向所述内壁内侧推压而将其保持。
本发明授权基板处理装置和喷射器的安装方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 该基板处理装置包括： 处理容器，其具有大致圆筒形状； 喷射器，其沿着所述处理容器的内壁内侧在铅垂方向上延伸设置；以及 保持部，其将所述喷射器向所述内壁内侧推压而将其保持， 所述保持部包含： 限制部，其设于第1高度位置，限制所述喷射器的相对于所述处理容器的移动；以及 推压部，其设于比所述第1高度位置靠下方的第2高度位置，向所述喷射器的相对于所述处理容器的移动被所述限制部所限制的方向推压所述喷射器， 所述推压部在所述内壁的周向上隔着所述喷射器设于与所述限制部相反的一侧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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