三星显示有限公司韩种馩获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利沉积装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113755811B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110612779.2,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权沉积装置是由韩种馩;姜贤圭;朴盛钟;韩尚辰;徐东均设计研发完成,并于2021-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积装置在说明书摘要公布了:根据本发明的一实施例,沉积装置包括:壳体;喷嘴,设置在所述壳体上,并且限定有第一喷嘴孔和与所述第一喷嘴孔相邻的第二喷嘴孔;坩埚,设置在所述壳体的内部,并且具备收容第一沉积物质的第一坩埚及收容第二沉积物质的第二坩埚;以及连接部,具备设置在所述第一喷嘴孔与所述第一坩埚之间的第一管及设置在所述第二喷嘴孔与所述第二坩埚之间的第二管。
本发明授权沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种沉积装置,包括: 壳体,沿第一方向延伸; 多个第一喷嘴和多个第二喷嘴,设置在所述壳体上,并且所述第一喷嘴限定有第一喷嘴孔,所述第二喷嘴限定有第二喷嘴孔,所述第一喷嘴与所述第二喷嘴被设置为在所述第一方向上彼此交替及重叠,以所述第一方向为基准,第N个所述第一喷嘴与第N个所述第二喷嘴之间的距离小于第N个所述第二喷嘴与第N+1个所述第一喷嘴之间的距离,其中所述N为自然数; 坩埚,设置在所述壳体的内部,并且具备收容第一沉积物质的第一坩埚及收容第二沉积物质的第二坩埚;以及 连接部,具备设置在所述第一喷嘴孔与所述第一坩埚之间的第一管及设置在所述第二喷嘴孔与所述第二坩埚之间的第二管, 所述第一坩埚和所述第二坩埚设置在所述壳体的外侧面上, 所述第一坩埚和所述第二坩埚沿所述第一方向排列, 所述多个第一喷嘴连接到所述第一坩埚,所述多个第二喷嘴连接到所述第二坩埚,在所述壳体的内部设置有将所述多个第一喷嘴和所述第一坩埚分别相连的多个所述第一管和将所述多个第二喷嘴和所述第二坩埚分别相连的多个所述第二管。
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