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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利保护部件形成装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114050116B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110811731.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权保护部件形成装置是由柿沼良典设计研发完成，并于2021-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本保护部件形成装置在说明书摘要公布了：本发明提供保护部件形成装置，其能够抑制在一个面上形成有保护部件的被加工物的搬出的困难性。保护部件形成装置包含：紫外线照射台，其利用使紫外线透过的支承板的支承面对被加工物进行支承；搬送单元，其对固定有被加工物的树脂片进行保持并将被加工物从紫外线照射台搬出；树脂提供单元，其对配置在支承面上的树脂片提供紫外线硬化型的液态树脂；按压单元，其将被加工物从背面侧朝向已提供至配置在支承面上的树脂片上的液态树脂进行按压；以及电离器单元，其向紫外线照射台的支承面喷射离子化空气。

本发明授权保护部件形成装置在权利要求书中公布了：1.一种保护部件形成装置，其在板状的被加工物的一个面上形成保护部件，其中， 该保护部件形成装置具有： 紫外线照射台，其利用支承板的支承面对被加工物进行支承，该支承板使来自配置于该紫外线照射台的内部的紫外线光源的紫外线透过； 片配置单元，其将比该被加工物大的使紫外线透过的片配置在该支承面上； 树脂提供单元，其对配置在该支承面上的该片提供紫外线硬化型的液态树脂； 按压单元，其将该被加工物从另一个面侧朝向已提供至配置在该支承面上的该片上的该液态树脂进行按压； 搬出单元，其对借助因紫外线而发生了硬化的液态树脂而固定有该被加工物的该片进行保持，将该被加工物从该紫外线照射台搬出；以及 电离器单元，其向该紫外线照射台的该支承面喷射离子化空气， 在利用该搬出单元使该片从该支承面离开时，该离子化空气沿着该支承面被提供至该片与该支承面之间的间隙中， 该保护部件形成装置还具有： 遮光罩，其利用遮光性的部件将该紫外线照射台的该支承面侧的空间罩住；以及 遮光挡板，其对该遮光罩的一部分进行开闭，允许该搬出单元向该空间侵入， 从该电离器单元喷射的离子化空气的一部分在该遮光挡板打开时按照将该片的该遮光挡板侧的端部区域向该支承面按压的朝向喷射。

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