FEI 公司M·卡普伦克获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利对准带电粒子束设备的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068270B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110879678.1，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权对准带电粒子束设备的方法是由M·卡普伦克;R·朔恩马克尔斯;O·卡布伦克;O·马切克设计研发完成，并于2021-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准带电粒子束设备的方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种对准带电粒子束设备的方法，其包含以下步骤：提供处于第一对准状态的带电粒子束设备；由处理单元使用对准算法来实现从所述带电粒子束设备的所述第一对准状态向第二对准状态的对准转换；以及将与所述对准转换相关的数据提供给修改算法来修改所述对准算法以便实现修改后的对准转换。
本发明授权对准带电粒子束设备的方法在权利要求书中公布了：1.一种对准带电粒子束设备的方法，其包含以下步骤： -提供处于第一对准状态的带电粒子束设备； -由处理单元使用对准算法来实现从所述带电粒子束设备的所述第一对准状态向第二对准状态的对准转换； -将与所述对准转换相关的数据提供给修改算法来修改所述对准算法以便使用修改后的对准算法来实现修改后的对准转换； 其中所述第一对准状态和所述第二对准状态是描述用于实行所述带电粒子束设备的预期用途的所述带电粒子束设备的一个或多个参数和操作的状态； 其中与所述对准转换相关的所述数据包括所述带电粒子束设备的设置、速度、定时和或校准结果； 其中所述修改算法是用于训练神经网络的训练算法并且所述对准算法是被布置成用于推断对准动作的顺序的可训练的决策算法。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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