台湾积体电路制造股份有限公司邱诗航获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利半导体器件和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114078845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110476181.5,技术领域涉及:H10D84/85;该发明授权半导体器件和方法是由邱诗航;吴仲强;洪若珺;王唯诚;刘冠廷;徐志安设计研发完成,并于2021-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件和方法在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体器件和方法。公开了具有改进的栅极电极结构的半导体器件及其形成方法。在实施例中,一种半导体器件,包括:位于半导体衬底之上的栅极结构,栅极结构包括:高k电介质层;位于高k电介质层之上的n型功函数层;位于n型功函数层之上的抗反应层,抗反应层包括电介质材料;位于抗反应层之上的p型功函数层,p型功函数层覆盖抗反应层的顶表面;以及位于p型功函数层之上的导电帽盖层。
本发明授权半导体器件和方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件,包括: 栅极结构,位于半导体衬底之上,所述栅极结构包括: 高k电介质层,所述高k电介质层在所述衬底之上延伸第一高度; n型功函数层,位于所述高k电介质层之上,所述n型功函数层在所述衬底之上延伸第二高度,所述第二高度小于所述第一高度; 抗反应层,位于所述n型功函数层之上,所述抗反应层包括电介质材料,所述抗反应层在所述衬底之上延伸所述第二高度; p型功函数层,位于所述抗反应层之上,所述p型功函数层覆盖所述抗反应层的顶表面,所述p型功函数层在所述衬底之上延伸第三高度,所述第三高度大于所述第二高度;以及 导电帽盖层,位于所述p型功函数层之上。
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