佳能特机株式会社冈部俊介获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利对准机构、对准方法、成膜装置及成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114175228B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080052936.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权对准机构、对准方法、成膜装置及成膜方法是由冈部俊介;铃木健太郎;青木泰一郎;中须祥浩设计研发完成，并于2020-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准机构、对准方法、成膜装置及成膜方法在说明书摘要公布了：本发明的对准机构是用于对基板和掩模进行位置调整的对准机构，其特征在于，所述对准机构包括：基板吸附部件，其用于吸附并保持基板；掩模支承部件，其支承掩模；临时承接部件，其配备于所述掩模支承部件，用于暂时支承吸附于所述基板吸附部件的所述基板及载置于所述掩模支承部件的所述掩模中的至少一方；水平粗动载台机构，其搭载所述掩模支承部件及所述临时承接部件，使所述掩模支承部件及所述临时承接部件在水平面内移动；以及垂直粗动载台机构，其使所述水平粗动载台机构升降。
本发明授权对准机构、对准方法、成膜装置及成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种对准机构，所述对准机构用于对基板和掩模进行位置调整，其特征在于， 所述对准机构包括： 基板吸附部件，所述基板吸附部件用于吸附并保持基板； 掩模支承部件，所述掩模支承部件支承掩模； 临时承接部件，所述临时承接部件配备于所述掩模支承部件，用于暂时支承吸附于所述基板吸附部件的所述基板及载置于所述掩模支承部件的所述掩模中的至少一方； 水平粗动载台机构，所述水平粗动载台机构搭载所述掩模支承部件及所述临时承接部件，使所述掩模支承部件及所述临时承接部件在水平面内移动；以及 垂直粗动载台机构，所述垂直粗动载台机构使所述水平粗动载台机构升降， 通过对所述水平粗动载台机构进行驱动并使所述掩模支承部件及所述临时承接部件在水平面内移动，从而在所述基板由所述基板吸附部件吸附并保持之前，对暂时支承于所述临时承接部件的所述基板相对于所述基板吸附部件的位置进行调整， 所述基板吸附部件吸附并保持进行了位置调整的所述基板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能特机株式会社，其通讯地址为：日本新泻县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励