群创光电股份有限公司周学轩获国家专利权
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龙图腾网获悉群创光电股份有限公司申请的专利金属结构的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114188228B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111068603.1，技术领域涉及：H01L21/48；该发明授权金属结构的制作方法是由周学轩;林宜宏设计研发完成，并于2021-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属结构的制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种金属结构的制作方法，其包括以下步骤：在基板上形成晶种层；在晶种层上形成图案化金属层，其中图案化金属层包括金属件；在晶种层上形成第一图案化光阻层，其中第一图案化光阻层的厚度小于图案化金属层的厚度；以及透过第一图案化光阻层对晶种层进行第一图案化制程以形成图案化晶种层，其中在第一图案化制程之后，金属件包括第一部分和第二部分，第一部分设置在图案化晶种层和第二部分之间，且第一部分的宽度大于第二部分的宽度。
本发明授权金属结构的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种金属结构的制作方法，其特征在于，包括： 在一基板上形成一晶种层； 在所述晶种层上形成一图案化金属层，其中所述图案化金属层包括一金属件； 在形成所述图案化金属层之后，在所述晶种层上形成一第一图案化光阻层，其中所述第一图案化光阻层的一厚度小于所述图案化金属层的一厚度；以及 透过所述第一图案化光阻层对所述晶种层进行一第一图案化制程以形成一图案化晶种层， 其中在所述第一图案化制程之后，所述金属件包括一第一部分和一第二部分，所述第一部分设置在所述图案化晶种层和所述第二部分之间，且所述第一部分的一宽度大于所述第二部分的一宽度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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