原子能和替代能源委员会若弗鲁瓦·迪蒙获国家专利权
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龙图腾网获悉原子能和替代能源委员会申请的专利制造具有改进的吸气剂保护的检测装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080093799.7，技术领域涉及：H10F39/18；该发明授权制造具有改进的吸气剂保护的检测装置的方法是由若弗鲁瓦·迪蒙;劳伦特·卡尔;让-雅克·约恩设计研发完成，并于2020-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造具有改进的吸气剂保护的检测装置的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于制造检测装置的方法，包括以下步骤：·基于位于覆盖热检测器20的矿物牺牲层62上的无定形碳来产生吸气剂垫50；·产生位于矿物牺牲层62上并覆盖吸气剂垫50的上表面和侧壁的薄封装层；·通过第一化学蚀刻去除矿物牺牲层；·通过第二化学蚀刻去除吸气剂垫50的保护段51。
本发明授权制造具有改进的吸气剂保护的检测装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造用于检测电磁辐射的装置1的方法，所述方法包括以下步骤： o产生用于检测电磁辐射的至少一个热检测器20，所述至少一个热检测器位于衬底10上并被由矿物材料制成的至少一个矿物牺牲层62覆盖，所述至少一个矿物牺牲层能够由第一化学蚀刻去除； o产生被称为吸气剂垫50的至少一个垫，所述吸气剂垫： ·在矿物牺牲层62上部分地延伸，并且在平行于所述衬底10的平面中远离热检测器20设置， ·由彼此平行的薄平面层的段51，52的堆叠形成，包括由无定形碳制成的保护段51.1以及由吸气剂材料制成的至少一个吸气剂段52.1，所述保护段能够通过第二化学蚀刻被去除并且与所述矿物牺牲层62接触，所述至少一个吸气剂段与保护段51.1接触； o产生在热检测器上方延伸的薄封装层31，所述薄封装层包括位于矿物牺牲层62上并覆盖吸气剂垫50的上表面和侧壁的上部31.1； o产生穿过所述薄封装层31的至少一个第一通风口32，所述至少一个第一通风口在平行于衬底10的平面中远离吸气剂垫50定位，并且通向所述矿物牺牲层62； o通过第一化学蚀刻去除矿物牺牲层62，从而释放保护段51的表面； o通过第二化学蚀刻去除保护段51，从而释放吸气剂段52的表面； o在所述薄封装层31上沉积薄密封层34，以便至少阻挡第一通风口32。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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