浙江大学宦荣华获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115792280B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211558947.5，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计是由宦荣华;刘志强;王雪峰;肖尊浩;施展;黄志龙设计研发完成，并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于双稳梁‑直梁设计的准零刚度MEMS加速度计，属于加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块在四个方位角处分别通过一对双稳梁‑直梁串联模块与质量块固支锚点连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的上下两侧，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；双稳梁‑直梁串联模块中的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构，一端与敏感质量块固接，另一端与直梁的一端串联，直梁另一端与质量块固支锚点固结；位于敏感质量块各个方位角处的一对双稳梁‑直梁串联模块平行、等间距且双稳梁的拱向一致。本发明可大大提升微机械加速度计的测量灵敏度，显著降低驱动电压。
本发明授权一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计在权利要求书中公布了：1.一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计，其特征在于，包括敏感质量块、驱动梳齿模块、双稳梁-直梁串联模块、检测梳齿模块； 所述的敏感质量块在四个方位角处分别通过一对双稳梁-直梁串联模块与质量块固支锚点连接，所述的驱动梳齿模块位于敏感质量块的上下两侧，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧； 所述的双稳梁-直梁串联模块包括双稳梁和直梁，双稳梁与直梁的厚度一致，长度比为1~3:1，双稳梁的拱高与拱厚的比值为1.2~1.67；所述的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构，双稳梁的一端与敏感质量块固接，双稳梁的另一端与直梁的一端串联，直梁的另一端与质量块固支锚点固结，所述的质量块固支锚点上溅射有金属电极层；位于敏感质量块各个方位角处的一对双稳梁-直梁串联模块平行且等间距，全部的双稳梁-直梁串联模块中的双稳梁的拱向一致。
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