合肥领航微系统集成有限公司雷禹获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利一种压电驱动MEMS反射镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115857158B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310119562.7,技术领域涉及:G02B26/08;该发明授权一种压电驱动MEMS反射镜是由雷禹;陈千禧设计研发完成,并于2023-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电驱动MEMS反射镜在说明书摘要公布了:本发明属于半导体设备领域,具体涉及一种压电驱动MEMS反射镜,包括:基底;镜片,镜片位于腔体内部;驱动结构,驱动结构包括:第一驱动块、第二驱动块、第三驱动块和第四驱动块,第一驱动块、第二驱动块、第三驱动块和第四驱动块均与基底的腔体内壁固定连接,第一驱动块通过第一柔性连接杆与柔性杆连接,第二驱动块通过第二柔性连接杆与柔性杆连接,第三驱动块通过第三柔性连接杆与柔性杆连接,第四驱动块通过第四柔性连接杆与柔性杆连接,柔性杆与镜片连接。本发明提出的压电驱动MEMS反射镜,接近镜片的驱动块体积较小,从而将中心反射镜包裹起来,通过杠杆原理,在减小了器件面积的同时,保持了较大的驱动力。
本发明授权一种压电驱动MEMS反射镜在权利要求书中公布了:1.一种压电驱动MEMS反射镜,其特征在于,包括: 基底1,所述基底1具有相对的正面及背面,所述正面具有腔体; 镜片5,所述镜片5位于所述腔体内部; 驱动结构2,所述驱动结构2包括: 第一驱动块2a、第二驱动块2b、第三驱动块2c和第四驱动块2d,所述第一驱动块2a、第二驱动块2b、第三驱动块2c和第四驱动块2d均与所述基底1的腔体内壁固定连接,所述第一驱动块2a通过第一柔性连接杆3a与柔性杆4连接,所述第二驱动块2b通过第二柔性连接杆3b与柔性杆4连接,所述第三驱动块2c通过第三柔性连接杆3c与柔性杆4连接,所述第四驱动块2d通过第四柔性连接杆3d与柔性杆4连接,所述柔性杆4与所述镜片5连接; 所述第二驱动块2b的体积小于第一驱动块2a,大于第三驱动块2c; 所述第三驱动块2c的体积大于第四驱动块2d; 所述第二柔性连接杆3b的长度大于第一柔性连接杆3a,小于第三柔性连接杆3c; 所述第三柔性连接杆3c的长度大于第四柔性连接杆3d的长度。
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