江苏微导纳米科技股份有限公司周芸福获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种基片支撑结构及沉积设备、沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116356291B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310482908.X，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种基片支撑结构及沉积设备、沉积方法是由周芸福设计研发完成，并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片支撑结构及沉积设备、沉积方法在说明书摘要公布了：本发明提供基片支撑结构以及具有该基片支撑结构的沉积设备，对用于静电吸附的凸点布局设计，将三个杆孔以基座圆心为中心呈等边三角形排布，同时基座的圆心处设置一凸点，不在同一直线上的三个相邻凸点呈等边三角形排布，且两个相邻的凸点的连线与三个杆孔构成的等边三角形的一边平行，各相邻两凸点之间的间距相等，该布局下凸点呈三点支撑，使得基片局部变形小，同时在该整体布局下，吸附力更为均匀，可以克服高温过程中由于局部温差而导致的基片局部塌陷问题，提升基片加工良率。
本发明授权一种基片支撑结构及沉积设备、沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种基片支撑结构，所述基片支撑结构应用于沉积设备中，其特征在于，包括基座以及基座上用于升降杆穿过的杆孔、基座上用于静电吸附的凸点，所述基座为可加热基座，其中， 所述杆孔的数量为三个，且该三个杆孔布置在以所述基座为圆心的第一圆周上且呈等边三角形分布； 所述凸点为多个，所述加热基座的圆心处设置一凸点，不在同一直线上的三个相邻凸点呈等边三角形排布，且两个相邻的凸点的连线与所述三个杆孔构成的等边三角形的一边平行，各相邻两凸点之间的间距相等； 多个所述凸点布置在以基座为圆心的第二圆周范围内的基座上，所述第二圆周的直径小于待加工基片的直径，所述第一圆周的直径小于所述第二圆周的直径； 各杆孔周围分别形成有三个凸点，所述三个凸点连线构成的等边三角形内切圆的圆心所在位置为对应杆孔的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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