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龙图腾网获悉杭州光之神科技发展有限公司申请的专利超微型电感高精度对位装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120599044B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511082675.X，技术领域涉及：G06T7/73；该发明授权超微型电感高精度对位装置及其控制方法是由杨翌华;陆达富设计研发完成，并于2025-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本超微型电感高精度对位装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请涉及电感对位控制技术领域，具体涉及超微型电感高精度对位装置及其控制方法，该方法包括：分别从预设各角度采集基板和掩膜版的图像，并记为采集图像；针对任一采集图像及其标准模版图像，获取采集图像及其标准模版图像的水平方向、垂直方向上的特征系数，将采集图像划分为各小块；获取采集图像的各小块内滤波处理的调整系数，获取采集图像的各小块内的滤波窗口的尺寸，对采集图像进行滤波处理；衡量基板与掩膜版的对位达标情况，若对位不达标，调整基板和掩膜版的相对位置，直至对位达标。本申请旨在通过对基板以及掩膜版进行精准的预处理，提高后续对于对位标记位置匹配的准确性，进而提高超微型电感高精度对位控制精度。

本发明授权超微型电感高精度对位装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.超微型电感高精度对位装置的控制方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 分别从预设各角度采集基板和掩膜版的图像，记为采集图像，并获取各采集图像的模版图像； 针对任一采集图像及其模版图像，通过模版图像在水平、垂直方向的映射结果的数据分布，获取将采集图像及其模版图像在水平、垂直方向的映射结果划分的各动态滑动窗口，通过评估采集图像及其模版图像之间各映射结果在各动态滑动窗口划分结果下的各滑动窗口内数据的差异，获取采集图像及其模版图像的水平、垂直方向上的特征系数，用于将采集图像及其模版图像划分为各小块； 比较采集图像的各小块与其模版图像中相同位置的小块内的数据概率分布，结合采集图像的各小块内角点的分布，获取采集图像的各小块内滤波处理的调整系数，结合所述特征系数，对采集图像进行滤波； 通过比对滤波后的各相同角度的基板图像与掩膜版图像，衡量基板与掩膜版的对位达标情况，若不达标，调整基板和掩膜版的相对位置，直至达标； 所述调整系数的获取过程为： 对各小块内像素点的灰度值进行概率统计，通过各小块内像素点的灰度值的概率拟合概率分布曲线；获取采集图像的各小块与其模版图像中相同位置的小块之间概率分布曲线的KL散度值； 计算各小块内所有任意两个角点之间距离的均值；计算各小块内所有像素点中角点的数量占比； 所述调整系数可进一步通过所述KL散度值、所述均值与所述占比获取； 所述调整系数为所述KL散度值、所述均值与所述占比三者的乘积。

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