买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉沈阳天成真空技术有限责任公司申请的专利高效率半导体光电阴极微光像增强器集成制造设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120613249B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511121323.0，技术领域涉及：H01J9/233；该发明授权高效率半导体光电阴极微光像增强器集成制造设备是由王平倬;李向新设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本高效率半导体光电阴极微光像增强器集成制造设备在说明书摘要公布了：本发明涉及微光像增强器制造技术领域，公开了高效率半导体光电阴极微光像增强器集成制造设备，包括光电阴极组件进样处理单元以及荧光屏管体进样单元，所述光电阴极组件进样处理单元包括依次连接的阴极进样室、200℃预热除气室、450℃光电阴极组件除气室、过渡室、铯氧激活室以及阴极小车取出室，所述荧光屏管体进样单元包括依次连接的管体进样室、两个450℃荧光屏管体除气室、电子清刷室、装配室、多工位压封室以及成品取样室，本发明采用模块化布置方式构建15个真空腔室，分别承担不同功能任务，实现荧光屏管体与光电阴极组件供给双线并行工艺，提高产线效率；多工位激活和多工位压封，可显著提升设备利用率，可将生产效率提高20倍以上。

本发明授权高效率半导体光电阴极微光像增强器集成制造设备在权利要求书中公布了：1.高效率半导体光电阴极微光像增强器集成制造设备，其特征在于，包括光电阴极组件进样处理单元以及荧光屏管体进样单元： 所述光电阴极组件进样处理单元包括依次连接的阴极进样室1、200℃预热除气室2、450℃光电阴极组件除气室3、过渡室4、铯氧激活室5以及阴极小车取出室6，所述铯氧激活室5一侧对称设置有两个450℃热清洗室7，所述铯氧激活室5以及450℃热清洗室7之间设有传递轨道16，所述传递轨道16上设有轨道托盘8； 所述铯氧激活室5可同时容纳并处理4-8个光电阴极组件并配有大面积分子束级铯源9和电加热氧化物氧源； 所述荧光屏管体进样单元包括依次连接的管体进样室10、两个450℃荧光屏管体除气室11、电子清刷室12、装配室13、多工位压封室14以及成品取样室15； 所述铯氧激活室5与装配室13相互连通且传递轨道16一端伸入到装配室13内； 所述铯氧激活室5以及装配室13内均设置有机械手17； 所述光电阴极组件进样处理单元以及荧光屏管体进样单元内均设置有直线轨道18，所述直线轨道18上安装有轨道小车19，所述轨道小车19用于放置光电阴极组件以及荧光屏管体； 所述直线轨道18与传递轨道16交叉位置采用错层布置，所述传递轨道16位于直线轨道18下方； 所述光电阴极组件进样处理单元以及荧光屏管体进样单元中的各个腔室均为可独立控制的真空腔室且各个腔室之间均通过超高真空闸板阀20隔离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳天成真空技术有限责任公司，其通讯地址为：110001 辽宁省沈阳市和平区族兴路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。