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龙图腾网获悉航菱微(泰州)科技有限公司申请的专利一种具有精修功能的半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120620053B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511113706.3，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种具有精修功能的半导体加工设备是由朱洪波;何平;李昌哲;胡志华;王中懋设计研发完成，并于2025-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有精修功能的半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有精修功能的半导体加工设备，涉及半导体加工技术领域，该加工设备包括加工架台，加工架台上设置有捕捉台，捕捉台上设置有定位台，定位台上滑动连接有滑动定位器，定位台底端设置有升降补偿台，捕捉台上设置有平衡检测组件，加工架台上设置有旋转工装，旋转工装内设置有摆臂电机，摆臂电机输出端上设置有摆动齿轮，旋转工装内设置有传动齿轮组，传动齿轮组上安装有摆动臂，摆动臂上设置有抛光罩，抛光罩上设置有抛光电机，抛光电机输出端上设置有抛光齿轮，抛光罩内设置有抛光轮盘组，定位台与捕捉台滑动连接，捕捉台上设置有负压组件，支撑箱体上设置有控制微机，本发明具有防止工件损伤以及具有精准定位加工的功能。

本发明授权一种具有精修功能的半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种具有精修功能的半导体加工设备，其特征在于：该加工设备包括加工架台1，所述加工架台1上设置有捕捉台2，所述捕捉台2上设置有定位台3，所述定位台3上滑动连接有滑动定位器4，定位台3底端设置有升降补偿台5，捕捉台2上设置有平衡检测组件，所述平衡检测组件与升降补偿台5电性连接，加工架台1上设置有旋转工装7，所述旋转工装7内设置有摆臂电机8，所述摆臂电机8输出端上设置有摆动齿轮18，旋转工装7内设置有传动齿轮组9，所述传动齿轮组9上安装有摆动臂10，所述摆动臂10上设置有抛光罩11，所述抛光罩11上设置有抛光电机12，所述抛光电机12输出端上设置有抛光齿轮13，抛光罩11内设置有抛光轮盘组14，所述抛光轮盘组14与抛光齿轮13啮合，所述定位台3与捕捉台2滑动连接，所述捕捉台2上设置有负压组件15，所述负压组件15与抛光罩11电感连接，加工架台1上安装有支撑箱体16，所述支撑箱体16上设置有控制微机，所述控制微机17通过导线与升降补偿台5、平衡检测组件、抛光电机12电性连接； 所述定位台3上安装有平移电机301，所述捕捉台2上设置有平移轨道201，所述平移电机301输出端与平移轨道201上的齿牙啮合，定位台3上滑动连接有纵移台302，定位台3上设置有移走气缸303，所述移走气缸303输出端与纵移台302连接，所述滑动定位器4与纵移台302滑动连接； 所述滑动定位器4包括多个滑动定位板401，每个所述滑动定位板401分别与对应的纵移台302滑动连接，所述纵移台302上旋转连接有紧固螺母402，所述紧固螺母402内缘分别与对应的滑动定位板401滑动接触，所述滑动定位板401上设置有微调电片403，所述微调电片403远离滑动定位板401一端设置有微调板404，所述微调电片403通过导线与控制微机17电性连接； 所述平衡检测组件包括标定器601与平衡器602，所述标定器601包括标定架603，所述标定架603设置在支撑箱体16上，标定架603下端面设置有标定灯条604，所述标定灯条604上与标定架603滑动连接，标定架603上还设置有色差测板605，所述色差测板605通过导线与控制微机17电性连接。

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