杭州光研科技有限公司陈海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种用于晶圆检测的传感器设置方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120637261B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511105807.6，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种用于晶圆检测的传感器设置方法是由陈海龙;郭晓忠;翁杰;陈加豪设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆检测的传感器设置方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，提供了一种用于晶圆检测的传感器设置方法，包括以下步骤：S1，获取传感器的角度范围和量程范围；S2，获取晶圆边缘轮廓类型；S3，根据晶圆边缘轮廓类型和传感器的角度范围，划分各个传感器的角度测量范围，确定各个传感器的角度姿态；S4，根据晶圆边缘轮廓类型和传感器的量程范围，划分各个传感器的量程测量范围；S5，根据各个传感器的角度测量范围和量程测量范围确定传感器的数量。本申请能够根据不同晶圆边缘轮廓类型进行传感器的设置，以确定能够覆盖整个晶圆边缘轮廓的传感器的最小数量，精准设置传感器，在一定程度上降低检测成本和生产成本。
本发明授权一种用于晶圆检测的传感器设置方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆检测的传感器设置方法，其特征在于，包括以下步骤： S1，获取传感器的角度范围和量程范围； S2，获取晶圆边缘轮廓类型； S3，根据晶圆边缘轮廓类型和传感器的角度范围，划分各个传感器的角度测量范围，确定各个传感器的角度姿态； S4，根据晶圆边缘轮廓类型和传感器的量程范围，划分各个传感器的量程测量范围； S5，根据各个传感器的角度测量范围和量程测量范围确定传感器的数量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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