江苏恒利弘科技有限公司白洋洋获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏恒利弘科技有限公司申请的专利一种晶圆抛光液的旋转输送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223455792U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422835191.5，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种晶圆抛光液的旋转输送装置是由白洋洋设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抛光液的旋转输送装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于技术领域，公开了一种晶圆抛光液的旋转输送装置，包括支撑平台,所述支撑平台的底部安装有双轴电机，且双轴电机的上端连接有固定轴，所述固定轴的外部固定连接有小齿轮，且小齿轮的左侧啮合连接有大齿轮，所述大齿轮的内部固定连接有转轴，且转轴的顶部固定连接有旋转平台，并且旋转平台的内部贯穿有输液管，通过设置的齿轮、大齿轮、转轴、旋转平台和输液管，启动双轴电机，可带动固定轴与小齿轮进行转动，与小齿轮啮合连接的大齿轮可带动转轴进行同步转动，使得转轴可带动旋转平台进行转动，输液管贯穿于蠕动泵的内部，通过蠕动泵控制液体的输送，从而达到便于对抛光液进行定量旋转输送装置。
本实用新型一种晶圆抛光液的旋转输送装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抛光液的旋转输送装置，包括支撑平台1，其特征在于：所述支撑平台1的底部安装有双轴电机2，且双轴电机2的上端连接有固定轴3； 所述固定轴3的外部固定连接有小齿轮4，且小齿轮4的左侧啮合连接有大齿轮5，所述大齿轮5的内部固定连接有转轴6，且转轴6的顶部固定连接有旋转平台7，并且旋转平台7的内部贯穿有输液管8；所述旋转平台7的顶部固定连接有固定框9，且固定框9的内部开设有有空腔10，并且空腔10的内部滑动连接有定位杆11，所述定位杆11与空腔10之间固定连接有拉伸弹簧12，且定位杆11的底部固定连接有夹持板13。
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