杭州光研科技有限公司陈海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种晶圆缺陷自动检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223461495U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422843206.2，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆缺陷自动检测装置是由陈海龙;陈小利设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷自动检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆缺陷自动检测装置，包括片盒加载单元、晶圆移动单元、缺陷检测单元和数据处理单元，片盒设有仓门，片盒加载单元包括承载台、横移机构、仓门开启机构和仓门回避机构，片盒置于承载台，横移机构设于片盒底部，仓门开启机构与仓门相对设置，能够锁定并开启仓门，仓门回避机构设于仓门开启机构底部，能够带动仓门开启机构远离和靠近片盒移动，晶圆移动单元包括机械臂，机械臂用于控制晶圆的移动，缺陷检测单元包括边缘检测单元和表面检测单元，边缘检测单元包括共用载台、寻边模块和检测模块，共用载台设有固定夹具，寻边模块包括寻边传感器，数据处理单元与片盒加载单元、晶圆移动单元、缺陷检测单元相连接。
本实用新型一种晶圆缺陷自动检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷自动检测装置，其特征在于，包括片盒加载单元、晶圆移动单元、缺陷检测单元和数据处理单元，所述片盒设有仓门，所述片盒加载单元包括承载台、横移机构、仓门开启机构和仓门回避机构，所述片盒置于承载台，所述横移机构设于片盒底部，所述仓门开启机构与仓门相对设置，能够锁定并开启仓门，所述仓门回避机构设于仓门开启机构底部，能够带动仓门开启机构远离和靠近片盒移动，所述晶圆移动单元包括机械臂，所述机械臂用于控制晶圆的移动，所述缺陷检测单元包括边缘检测单元和表面检测单元，所述边缘检测单元包括共用载台、寻边模块和检测模块，所述共用载台设有固定夹具，所述寻边模块包括寻边传感器，所述数据处理单元与片盒加载单元、晶圆移动单元、缺陷检测单元相连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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