致真精密仪器(青岛)有限公司张学莹获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精密仪器(青岛)有限公司申请的专利一种磁场探针台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223461690U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423041697.5，技术领域涉及：G01R33/12；该实用新型一种磁场探针台是由张学莹;杜洪磊设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁场探针台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种磁场探针台，包括三维磁场发生模块、样品承载模块、探针模块，三维磁场发生模块包括面内磁场发生组件、垂直磁场发生组件，面内磁场发生组件被构造成能够在预设位置产生大体平行于被测物表面的磁场的形式，垂直磁场发生组件包括相对设置的垂直极头，预设位置位于垂直极头之间；将两个垂直极头设置于被测物的被测位置的两侧，减少了垂直磁场的发散，使得被测物的被测位置处的磁场强度增大；在相同的垂直磁场强度要求下，可以在被测物上方留出更大的空间以用于探针与被测物相接触，从而便于扎针；使垂直极头无需为规避探针而减小其端部尺寸，能够增大垂直磁场的范围，可以用于大尺寸晶圆的检测。
本实用新型一种磁场探针台在权利要求书中公布了：1.一种磁场探针台，其特征在于，包括：三维磁场发生模块，包括面内磁场发生组件、垂直磁场发生组件，所述面内磁场发生组件被构造成能够在预设位置产生大体平行于被测物表面的磁场的形式，所述垂直磁场发生组件包括相对设置的垂直极头，所述预设位置位于所述垂直极头之间； 样品承载模块，被构造成能够承托被测物的形式，被测物能够在所述样品承载模块的承载下位于所述垂直极头之间并靠近所述预设位置； 探针模块，包括探针座、探针，所述探针安装于所述探针座，所述探针的检测端向所述预设位置伸出。
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