武汉帝尔激光科技股份有限公司丁亮获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉帝尔激光科技股份有限公司申请的专利一种掩膜版切换调节装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223461785U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423052053.6,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种掩膜版切换调节装置是由丁亮;周求;万胜;饶浩乾;朱凡设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版切换调节装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种掩膜版切换调节装置,包括平移模组和角度调节模组;平移模组上的上料板沿平移模组移动方向开设多个取料孔,每一取料孔均设有安装有掩膜版的夹具模组,夹具模组吸附在上料板上;角度调节模组中的调节组件可带动取料组件在光束传递方向移动并旋转,且调节组件和取料组件沿光束传递方向均设有贯穿孔。平移模组沿与光束传递方向垂直的方向移动使掩膜版移动至光束传递路径上,实现掩膜版的切换,节省产品换型时间,通过调节组件带动取料组件朝上料板移动,取料组件穿过取料孔吸附夹具模组,并继续沿该方向移动使夹具模组与上料板分离,调节组件带动取料组件旋转,以调整掩膜版的角度,保证切换后的掩膜版的位置精度满足生产要求。
本实用新型一种掩膜版切换调节装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版切换调节装置,其特征在于,包括平移模组和角度调节模组; 所述平移模组上设有上料板,所述上料板沿平移模组的移动方向开设有多个取料孔,每一所述取料孔均对应设有一个夹具模组,每一所述夹具模组上均安装有掩膜版,所述夹具模组通过第一吸附模组可拆卸的安装在所述上料板上,所述平移模组可以沿着与光束传递方向垂直的方向移动; 所述角度调节模组设置在所述上料板背离夹具模组的一侧,所述角度调节模组包括调节组件和与调节组件连接的取料组件,所述调节组件可以带动所述取料组件沿光束传递方向前后移动并带动所述取料组件旋转,所述取料组件和夹具模组之间设有第二吸附模组,所述调节组件和取料组件均沿着光束传递方向设有贯穿孔; 当所述平移模组带动对应的掩膜版移动至光束传递路径上时,所述掩膜版正对所述贯穿孔,所述调节组件带动所述取料组件朝着上料板移动,直至所述取料组件穿过取料孔,通过所述第二吸附模组将所述夹具模组吸附在取料组件上,所述取料组件继续沿该方向移动使所述夹具模组与所述上料板分离,随后所述调节组件带动所述取料组件旋转,调节所述掩膜版的角度。
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