东京毅力科创株式会社平濑圭太获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板待机部和基板处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462198U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422673190.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型基板待机部和基板处理系统是由平濑圭太;田中幸二;木村裕二;武井奖太;御所真高;户川诚司;北村和晃;萩岛裕士;大原智章;江头笃嗣设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板待机部和基板处理系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种基板待机部和基板处理系统，能够提高生产能力。基板待机部使在上表面和下表面附着有第一液膜的基板等待，所述基板待机部具备：处理液供给部，其对所述基板的上表面供给第一量的处理液来形成第二液膜；质量测定部，其测定所述第二液膜的质量；第一摄像部，其获取所述基板的上表面的图像即上表面图像；以及液膜状态判定部，其使用所述上表面图像来判定所述第二液膜的状态。
本实用新型基板待机部和基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板待机部，其特征在于，使在上表面和下表面附着有第一液膜的基板等待，所述基板待机部具备： 处理液供给部，其对所述基板的上表面供给第一量的处理液来形成第二液膜； 质量测定部，其测定所述第二液膜的质量； 第一摄像部，其获取所述基板的上表面的图像即上表面图像；以及 液膜状态判定部，其使用所述上表面图像来判定所述第二液膜的状态。
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