中北大学李孟委获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学申请的专利压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110966997B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911278616.4,技术领域涉及:G01C19/5656;该发明授权压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置是由李孟委;王旭虎设计研发完成,并于2019-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置在说明书摘要公布了:一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置,主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁组件、检测组合梁组件、驱动质量块、检测质量块、检测磁体、隧道磁阻元件、压电薄膜驱动电极组件、导线、电极组成。支撑框架放置在键合基板上,通过驱动组合梁组件连接驱动质量块,驱动质量块通过检测组合梁组件连接检测质量块。隧道磁阻元件放置在检测质量块上表面中心与键合基板中心凹槽内沉积的检测磁体相对应。本发明采用压电效应驱动,驱动位移大,功耗低;隧道磁阻效应检测,隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性,此装置结构设计合理、简单,使用方便,适合微型化。
本发明授权压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置在权利要求书中公布了:1.一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置,包括:键合基板1和设置在所述键合基板1上的支撑框架4,所述支撑框架4内侧设置有驱动质量块5,所述驱动质量块5内侧设置有检测质量块6,所述驱动质量块5的边角通过驱动组合梁组件与外部的支撑框架4连接,所述检测质量块6的边角通过检测组合梁组件与驱动质量块5连接,所述检测质量块6中心设置有隧道磁阻元件7,其特征在于: 还包括:压电薄膜驱动电极组件和检测电极20,所述压电薄膜驱动电极组件设置在驱动组合梁组件上,所述压电薄膜驱动电极组件包括第一压电薄膜驱动电极22、第二压电薄膜驱动电极23、第三压电薄膜驱动电极24、第四压电薄膜驱动电极25,所述第一压电薄膜驱动电极22、第二压电薄膜驱动电极23、第三压电薄膜驱动电极24、第四压电薄膜驱动电极25分别设置在驱动组合梁组件上,所述检测电极20设置在靠近所述第二压电薄膜驱动电极23和第三压电薄膜驱动电极24的位置,所述隧道磁阻元件7通过信号检测导线21分别连接所述检测电极20; 所述一压电薄膜驱动电极22、第二压电薄膜驱动电极23、第三压电薄膜驱动电极24、第四压电薄膜驱动电极25结构相同,均由第一压电驱动顶部电极32、第二压电驱动顶部电极33、第三压电驱动顶部电极34、第四压电驱动顶部电极35、压电驱动材料层36、压电驱动底部电极16、17、18、19组成,所述压电驱动底部电极16、17、18、19置于第一驱动梁26上,所述压电驱动材料层36置于压电驱动底部电极16上,所述第一压电驱动顶部电极32、第二压电驱动顶部电极33、第三压电驱动顶部电极34、第四压电驱动顶部电极35分别设置在压电驱动材料层36上的四个边角,并相互之间留有间隙。
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