拓荆科技股份有限公司金基烈获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113823582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010570685.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法是由金基烈;荒见淳一;刘振;张亚新;林英浩;申思设计研发完成，并于2020-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法在说明书摘要公布了：本申请涉及用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法。一种用于单个处理站阻抗调节的装置可包括：加热盘，其包括第一接地网和第二接地网，所述第一接地网和所述第二接地网覆盖所述加热盘的不同区域；第一调谐器，其连接到所述第一接地网，且包含第一可调电容和用以检测电流的第一传感器；以及第二调谐器，其连接到所述第二接地网，且包含第二可调电容和用以检测电流的第二传感器。
本发明授权用于处理站阻抗调节的装置、系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于单个处理站阻抗调节的装置，其包括： 加热盘，其包括第一接地网和第二接地网，所述第一接地网和所述第二接地网覆盖所述加热盘的不同区域； 第一调谐器，其连接到所述第一接地网，且包含第一可调电容和用以检测电流的第一传感器；以及 第二调谐器，其连接到所述第二接地网，且包含第二可调电容和用以检测电流的第二传感器； 第一加热盘射频电极和第二加热盘射频电极，所述第一加热盘射频电极的一端连接到所述第一接地网，其另一端经由第一射频转接结构连接到所述第一调谐器的第一接入电极，所述第二加热盘射频电极的一端连接到所述第二接地网，其另一端经由第二射频转接结构连接到所述第二调谐器的第二接入电极， 其中，所述第一射频转接结构包含第一夹紧结构以及第一弹片，所述第一弹片的一端固定在所述第一接入电极上，所述第一弹片的另一端通过所述第一夹紧结构与所述第一加热盘射频电极的所述另一端夹紧连接；以及 所述第二射频转接结构包含第二夹紧结构以及第二弹片，所述第二弹片的一端固定在所述第二接入电极上，所述第二弹片的另一端通过所述第二夹紧结构与所述第二加热盘射频电极的所述另一端夹紧连接。
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