弗劳恩霍夫应用研究促进协会托马斯·里塞奇获国家专利权
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龙图腾网获悉弗劳恩霍夫应用研究促进协会申请的专利微系统及其生产方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114667266B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080057370.2，技术领域涉及：B81B3/00；该发明授权微系统及其生产方法是由托马斯·里塞奇;马尔特·佛罗莱恩·尼基尔;姗姗·顾-斯托普尔;法比安·洛芬克设计研发完成，并于2020-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本微系统及其生产方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种微系统，包括第一支撑元件和第二支撑元件，其中第一支撑元件与第二支撑元件彼此之间的位置是可变的。该微系统包括永磁装置，该永磁装置以机械固定方式连接到第一支撑元件并且被配置成生成磁场。此外，微系统包括传感器装置，该传感器装置以机械固定方式连接到第二支撑元件并且被配置成检测磁场并且提供基于磁场的传感器信号。传感器信号指示支撑元件彼此之间的相对位置。
本发明授权微系统及其生产方法在权利要求书中公布了：1.一种微系统，包括： 第一支撑元件121和第二支撑元件122，其中所述第一支撑元件121和所述第二支撑元件122相对于彼此的相对位置是可变的，其中，所述第一支撑元件121被形成为板元件； 永磁装置14，其以机械固定方式连接到所述第一支撑元件121并且被配置成生成磁场； 包括一个或更多个传感器元件181-184的传感器装置18，其以机械固定方式连接到所述第二支撑元件122并且被配置成检测所述磁场并且提供基于所述磁场的传感器信号22； 其中所述传感器信号22指示支撑元件121、122相对于彼此的所述相对位置， 其中所述永磁装置14包括至少一个永磁元件141，所述永磁元件具有多个粒子，所述粒子通过原子层沉积彼此连接以形成固定的三维结构， 其中所述永磁装置14包括多个永磁元件141-144，所述多个永磁元件布置成彼此相距一段距离，使得在传感器元件181-184的位置处的永磁元件141-144的磁场的检测至多微不足道地受相邻永磁元件的磁场的影响。
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