株式会社EUGENE科技金龙基获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社EUGENE科技申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730691B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080080474.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置是由金龙基;申良湜;许冻彬;李泰昊设计研发完成，并于2020-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：根据本发明的一实施例的基板处理装置，包括：支撑板；天线，与上述支撑板的一面平行设置，且具有自内侧端沿着一方向卷绕的第1至第n线匝，n为大于3的整数；以及距离调节单元，可调节上述第1至第n线匝的间隔距离。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于， 包括： 支撑板； 天线，与所述支撑板的一面平行设置，并具有彼此隔开且自内侧端沿着一方向卷绕的第1至第n线匝，n为大于4的整数； 多个支撑件，固定于所述天线的第m-1线匝与第m线匝之间以限制所述第m-1线匝和所述第m线匝的移动，其中，m为大于3且小于n的整数；以及 距离调节单元，通过将所述天线内侧端向一方向或所述一方向的反方向旋转，可调节所述第1至第m-1线匝的间隔距离， 所述天线包括： 具有第1至第m-1线匝的内侧部分，该内侧部分位于所述支撑件的内侧，在所述天线旋转时，所述内侧部分可向所述天线的内侧端移动，从而使得形成在所述第1至第m-1线匝的间隔距离可调节； 具有第m至第n线匝的外侧部分，该外侧部分位于所述支撑件的外侧，在所述天线旋转时，所述外侧部分向所述天线内侧端的移动被所述支撑件限制，从而使得形成于第m至第n线匝之间的间隔距离维持相同；以及 连接部分，设在所述内侧部分和所述外侧部分之间以连接所述内侧部分和所述外侧部分，所述连接部分具有线性形状，因此所述连接部分与所述内侧部分及所述外侧部分形成的角度随着所述天线的旋转发生变化， 所述第m-1线匝的向外移动和所述第m线匝的向内移动被所述支撑件限制。
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